Partikelgröße: 0,3 – 5,0 μm; Temperatur-Toleranz: 21 +/ - 3 °C; Relative Luftfeuchte: < 70 %; Überdruck Reinraum: + 35 Pa; Überdruck Personalschleuse: + 15 Pa; Überdruck Materialschleuse: + 15 Pa; Wärmelast je 25 m² Reinraum (Raumhöhe 3.100 mm): 5,0 kW